مواد کلیدی مورد استفاده در تارگت‌های کندوپاش برای پوشش‌های لایه نازک

فرآیند کندوپاش، یک ماده اولیه به نام تارگت را تبخیر می‌کند تا یک لایه نازک و با کارایی بالا را روی محصولاتی مانند نیمه‌هادی‌ها، شیشه و نمایشگرها رسوب دهد. ترکیب تارگت مستقیماً خواص پوشش را تعریف می‌کند و انتخاب ماده را حیاتی می‌سازد.

طیف گسترده‌ای از فلزات مورد استفاده قرار می‌گیرند که هر کدام برای مزایای عملکردی خاصی انتخاب می‌شوند:

فلزات پایه برای الکترونیک و لایه‌های میانی

مس با خلوص بالا به دلیل رسانایی الکتریکی استثنایی‌اش ارزشمند است. هدف قرار دادن مس با خلوص ۹۹.۹۹۹۵٪ برای ایجاد سیم‌کشی میکروسکوپی (اتصالات) در داخل میکروچیپ‌های پیشرفته ضروری است، جایی که حداقل مقاومت الکتریکی برای سرعت و کارایی بسیار مهم است.

نیکل با خلوص بالا به عنوان یک ابزار همه کاره عمل می‌کند. این ماده در درجه اول به عنوان یک لایه چسبندگی عالی و یک مانع انتشار قابل اعتماد استفاده می‌شود که از مخلوط شدن مواد مختلف جلوگیری کرده و یکپارچگی ساختاری و طول عمر دستگاه‌های چند لایه را تضمین می‌کند.

فلزات نسوز مانند تنگستن (W) و مولیبدن (Mo) به دلیل مقاومت حرارتی و پایداری بالایشان ارزشمند هستند و اغلب به عنوان موانع انتشار قوی و برای اتصالات در محیط‌های دشوار استفاده می‌شوند.

فلزات کاربردی تخصصی

نقره با خلوص بالا بالاترین رسانایی الکتریکی و حرارتی را در بین تمام فلزات ارائه می‌دهد. این ویژگی، آن را برای رسوب الکترودهای بسیار رسانا و شفاف در صفحات لمسی و پوشش‌های بسیار بازتابنده و کم‌گسیل روی پنجره‌های کم‌مصرف ایده‌آل می‌کند.

فلزات گرانبها مانند طلا (Au) و پلاتین (Pt) برای اتصالات الکتریکی بسیار قابل اعتماد و مقاوم در برابر خوردگی و در حسگرهای تخصصی استفاده می‌شوند.

فلزات واسطه مانند تیتانیوم (Ti) و تانتالوم (Ta) به دلیل چسبندگی عالی و خواص سدکنندگی بسیار مهم هستند و اغلب قبل از اعمال سایر مواد، لایه پایه را روی یک زیرلایه تشکیل می‌دهند.

در حالی که این مجموعه متنوع از مواد، فناوری مدرن را ممکن می‌سازد، عملکرد مس در رسانایی، نیکل در قابلیت اطمینان و نقره در بازتاب عالی در کاربردهای مربوطه بی‌نظیر است. کیفیت پایدار این فلزات با خلوص بالا، سنگ بنای پوشش‌های لایه نازک با کارایی بالا است.


زمان ارسال: ۲۴ نوامبر ۲۰۲۵